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省配線、小巧緊湊的薄型電空減壓半導(dǎo)體、精密領(lǐng)域的各種按壓控制、微速氣缸控制。行業(yè)

采用基于半導(dǎo)體壓力傳感器與電子控制回路的反饋控制，可通過電氣信號連續(xù)且高精度地控制空氣壓力的電空減壓閥。行業(yè)傳感器

可從0kPa開始高精度地進(jìn)行以往未能實(shí)現(xiàn)的50kPa以下比例控制的電空減壓閥。行業(yè)

是小型、高性能電空減壓閥，配備有壓力顯示、錯誤顯示功能、直接記憶功能等方便的功能。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）特殊用途、搬送

是采用基于半導(dǎo)體壓力傳感器與電子控制回路的反饋控制，實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)的電空減壓閥。行業(yè)

本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓半導(dǎo)體、精密貼裝領(lǐng)域的先導(dǎo)減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）